施耐德电气Modicon M340 PLC在硅片研磨机上的应用
一、硅片研磨机用途和特点
研磨机主要用于硅片陶瓷片石英晶体及其他半导体材料的双面研磨，
也可用于其它硬脆材料的双面高精度研磨。
电气比例减压阀电控调节正压 (输出压力因输入电压的变化而平滑地
改变)，选用荷重传感器时时检测工件受力，并将信号反馈给控制单
元构成压力的闭环控制，压力控制精确。
该机可由用户设定存贮十套不同的工艺参数 (压力、时间、速度、速
比、缓降压力、浮动时间等)。
二、设备结构概述
2.1 研磨机的上研磨盘、下研磨盘、内齿圈三个转速的固定搭配，太阳轮单独驱动，游星轮的
公转和自转可以在一定范围内任意调节适配，有利于工件研磨精度和研磨效率的提高。
2.2 采用施耐德电气高性能ATV71变频器调速拖动普通三相异步电机，采用CANOPEN总线驱
动实现了起动、停车的平稳过渡，满足了研磨的工艺要求。
2.3 本机采用施耐德电气M340 PLC控制，M340集成CANOPEN总线，利用通讯方式直接驱动
ATV71变频器，高精度16位模拟输出精确驱动比例阀。
触摸屏XBTGT显示并设定各项工作参数及工作状态，工件的研磨量可由计数(时间Sec或Min)
或测频(本机留有测频接口)来控制。
三、电气控制框图
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